基于行列寻址的压电超声换能器柔性曲面阵的研制

作者：秦芸; 王智豪; 张**; 杨玉华; 何常德; 王任鑫^*

来源：微纳电子技术, 2023, 60(05): 786-792.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2023.05.017

• 压电超声换能器
• 压电陶瓷片
• 柔性印刷电路板(PCB)
• 曲面阵
• 行列寻址(RCA)

锆钛酸铅(PZT)压电超声换能器材料由于其优异的压电性能而在微电子机械系统(MEMS)领域受到了广泛的关注。订制了边长4 cm的PZT压电陶瓷片，将压电陶瓷片与柔性印刷电路板(PCB)键合，将压电陶瓷片划成2.45 mm×2.45 mm的阵元，在沟槽内填充环氧树脂胶。将键合后的压电陶瓷片粘在曲面模具上，溅射金属形成上电极，制成14×14阵元的曲面阵，其曲率半径为10 cm。此曲面阵采用行列寻址(RCA)的方式可以在水中测到发射和接收信号，并且可以对体模进行脉冲回波成像，在超声成像领域有广阔的发展前景。制备的曲面阵可为研制直径20 cm的柱面阵提供参考。

• 单位
  中北大学