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摘要
本发明提供一种超导器件的常温检测方法及系统,包括：选择参考超导器件,测定参考超导器件的常温电阻值以及低温下的工作状态；若参考超导器件在低温条件下的工作状态正常,则将参考超导器件的常温电阻值作为参考值；若参考超导器件的状态不正常,则重新选择参考超导器件；在常温条件下,测试被测超导器件的常温电阻值并与参考值进行对比,判断被测超导器件是否损害。本发明利用了超导器件的常温特性进行检测,检测方法快速高效,能适用于晶圆上的超导芯片的批量检测。
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本发明提供一种超导器件的常温检测方法及系统,包括：选择参考超导器件,测定参考超导器件的常温电阻值以及低温下的工作状态；若参考超导器件在低温条件下的工作状态正常,则将参考超导器件的常温电阻值作为参考值；若参考超导器件的状态不正常,则重新选择参考超导器件；在常温条件下,测试被测超导器件的常温电阻值并与参考值进行对比,判断被测超导器件是否损害。本发明利用了超导器件的常温特性进行检测,检测方法快速高效,能适用于晶圆上的超导芯片的批量检测。
