退火保温时间对碳化硼微球涂层表面形貌的影响

作者：谢兰东; 廖志君; 陈睿翀; 苏明甫; 伍登学; 卢铁城

来源：四川大学学报(自然科学版), 2015, 52(05): 1107-1111.

• ICF靶丸
• 电子束蒸发
• 碳化硼涂层
• 保温时间
• 表面形貌

采用电子束蒸发镀膜技术,并结合本课题组自行设计的磁控滚动三维沉积装置,以及真空连续加料装置,在Ф12mm钢球上沉积碳化硼微球涂层.通过X射线光电子能谱(XPS)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM),对退火处理中不同保温时间的碳化硼微球涂层进行表征.结果表明,微球涂层硼碳比较小,有部分B流失;不同的保温时间对微球形貌的影响比较明显.随着保温时间的增加,微球表面粗糙度逐渐增大,但致密性和力学性能同时也得到相应加强.确定保温时间为13h为最佳退火保温条件.

• 单位
  中国科学院; 辐射物理及技术教育部重点实验室; 四川大学