纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制

作者：刘西锋; 董汉鹏; 夏善红

来源：Acta Chimica Sinica, 2013, (04): 657-662.

• 纳米氧化锡
• 催化燃烧传感器
• 微机电系统(MEMS)
• 氢气检测 nano tin oxide
• catalytic combustible gas sensor
• micro-electro mechanical system(MEMS)
• hydrogen detection

研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0～4%浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1%H2,线性度为99.4%.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持...

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院电子学研究所; 传感技术国家重点实验室