进气方式对热丝CVD制备金刚石薄膜的影响

作者：魏秋平; 王玲; 余志明; 陈永勤; 马莉; 龙航宇

来源：中国表面工程, 2009, 22(06): 36-41+46.

• 金刚石薄膜
• 进气方式
• 硬质合金
• 晶体形貌
• 织构

采用超高真空热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以甲烷和氢气为反应气体,在YG13(WC-13%Co)硬质合金基体上沉积金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对金刚石薄膜进行检测分析,研究了反应气体的不同进气方式对金刚石薄膜的影响。结果表明,随着进气方式的改变,基体周围气氛的组成、密度和分布受到影响,金刚石薄膜的形核密度、表面形貌、生长织构均有明显的变化,所得金刚石晶粒的生长参数多为1.5<α<3,3~(1/2)/2<г<3~(1/2)。

• 单位
  材料科学与工程学院; 中南大学; 粉末冶金国家重点实验室