时间监控法制备窄带滤光膜系工艺技术

作者：张金豹^*; 王**; 耿浩; 史成浡; 孙亚威

来源：陕西理工大学学报(自然科学版), 2019, 35(02): 12-16.

• 窄带滤光膜
• 时间监控
• 拟合
• 光谱

基于规整全介质窄带滤光膜系初始结构,采用光学薄膜软件中单纯形算法优化出了所需光谱特性曲线,并对制备结果进行了拟合反演,依靠时间监控的离子束溅射镀膜机制备了中心波长950±2 nm,半宽度50 nm,峰值透过率大于90%,截止透射率小于0. 5%的窄带滤光膜系。