ZrO_2-SiO_2二元系统平面光波导薄膜的制备与性能表征

作者：华斌; 钱国栋; 徐静; 何赛灵; 王民权

来源：硅酸盐通报, 2004, (03): 35-37.

DOI：10.16552/j.cnki.issn1001-1625.2004.03.010

• 平面光波导
• ZrO2-SiO2薄膜
• 折射率
• 溶胶-凝胶技术 planar optical waveguide ZrO2 - SiO2 film refractive index sol - gel

应用溶胶-凝胶技术,以TEOS与ZrOCl2·8H2O为先驱体,研制了用于有源光波导基质材料的ZrO2-SiO2二元系统薄膜,探明了ZrO2-SiO2二元系统薄膜折射率、厚度与薄膜组分、匀胶速度、陈化时间、热处理温度的内在关系,实现薄膜厚度和薄膜折射率在一定范围内的连续可调,为研制一类新型的光通信窗口有源光波导材料提供了基质材料。

• 单位
  硅材料国家重点实验室