氮化硅-铼嬗变模拟靶材的制造和性能研究

作者:李斌; 凤仪; 张学斌; 刘慧强; 朱艳芳; 余东波; 潘孝兵; 屠荆; 欧阳晓平; 曹良志; 吴宏春
来源:材料工程, 2010, z1: 290-295.
DOI:10.3969/j.issn.1001-4381.2010.z1.062

摘要

采用无压烧结的方法(在1550℃保温3小时)添加5wt.%MgO,5wt.%Y2Oa和不同含量的Re制造出了Si3N4-Re嬗变模拟靶材.研究了Re含量的不同对嬗变靶材致密度和抗弯强度的影响,并通过物相分析,显微组织和断口形貌观察对相关机理进行了分析.

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