柔性湿度传感器制作技术研究

作者：张巍; 王洋洋; 秦浩; 徐晓龙; 马琳

来源：传感器与微系统, 2020, 39(05): 45-47.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2020)05-0045-03

• 柔性湿度传感器
• 聚酰亚胺
• 微机电系统(MEMS)

在聚酰亚胺柔性衬底上采用微机电系统(MEMS)加工技术制作了用于智能可穿戴系统的柔性湿度传感器,传感器具有耐弯折、可穿戴、测量精度高、响应时间短的优点。实验采用湿度发生器、盐箱、LCR电桥对传感器的容值、输出特性、响应时间进行了检测分析。分析结果表明:该柔性湿敏电容对人体皮肤及环境湿度响应良好,传感器输出值与相对湿度呈现良好的线性关系,线性相关系数0. 999,湿度检测范围(10～90)%RH,非线性0. 79%RH,响应时间6 s。实验采用的MEMS加工工艺技术成熟,可以实现批量生产。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十九研究所