科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本文以K9为基底设计了一种宽通带宽截止带通滤光片,即:540750 nm为通带区域,400520 nm、7701100 nm为截止带区域,为实现这一特性,在K9基底的两侧分别设置长波通和短波通组合膜系,分别用于截止400520 nm和7701100 nm,而两者通带交集为540750 nm,膜层总数为48层,膜层总厚度达5.03μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料。利用分光光度计对镀有该组合膜的样品透过率进行测量,测试结果表明540750 nm通带平均透过率达到了85.82%,通带相对半宽度达221 nm,400520 nm和7701100 nm的截止度分别达到1.36%和1.27%,实验结果与理论设计基本吻合,达到了宽通带宽截止的目标,环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度。该组合膜系可以应用于可靠性要求较高的环境中。
-
单位江南大学; 中国科学院; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
