基于Workbench对硅片切割加工夹具的优化设计

作者：刘建; 吴波

来源：机械设计与制造, 2020, (03): 211-219.

DOI：10.19356/j.cnki.1001-3997.2020.03.051

• 硅棒
• 夹具
• 工况分析系统

针对硅棒在切割加工过程中加工精度不足、效率低等问题,研发了一款用于硅棒加工的金刚石切割夹具。为了使夹具系统的性能更好,使用Workbench软件对夹具进行了的静力学分析,求解出夹具的应力应变云图;根据夹具的频率方程,得出夹具前20阶自由模态固有频率,将求解结果与其工作频率进行对比分析;通过选择合适的设计变量,对夹具进行轻量化设计,获取夹具的最优结构尺寸。由于夹具在不同工况下所受的载荷不一样,所以结合VB和ANSYS软件设计了夹具工况分析系统,用于夹具的快速分析和优化,可有效提高夹具的设计效率。

• 单位
  机电工程学院; 武汉理工大学