反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究进展

作者：蒋芳; 杨勇; 黄政仁

来源：机械工程材料, 2012, (12): 1-4+9.

• SiC
• 表面改性
• 反射镜 silicon carbide
• surface modification
• mirror

综述了反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究现状,重点介绍了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)制备SiC涂层和硅涂层的优缺点及制备机理,并讨论了SiC陶瓷光学部件表面改性今后的发展方向。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院大学; 中国科学院上海硅酸盐研究所