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摘要
随着物联网的飞速发展，对于温度的实时、准确和多点可视化监控变得不可或缺。基于之前发展的宽温域高精度氧化镍温度传感器，通过有限元阵列式热敏器件的模拟仿真，提出合适的阵列敏感单元尺寸和分布，在真实反映热源温度的情况下，尽量降低对相邻敏感单元的影响。仿真模型为四层结构，阵列密度为4×4。为了保证模拟的准确性，各层厚度均进行了同比例的放大。敏感单元尺寸的模拟优化结果 显示，随着单元面积的减小其对于临近单元的影响逐步减小，当单元面积为8 mm×8 mm时，基本达到平衡。在厚度方面，当厚度到达1.0 mm之前，其变化对相邻单元温度影响较大；当厚度超过1.0 mm之后，影响变小。综合两个模拟结果 确定了阵列中敏感层单元的尺寸为8 mm（长）×8 mm（宽）×（0.6～1.0）mm（高）。
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