一种高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法

作者:费春龙; 刘治勇; 林鹏飞; 李迪; 杨银堂
来源:2018-03-01, 中国, CN201810170086.0.

摘要

本发明涉及一种高频内窥超声换能器用压电阵元的制作方法,包括将初始阵元切割成各个相互分离的阵元块,采用环氧树脂对阵元块之间的切割缝进行填充并对阵元块的匹配层表面进行覆盖,待环氧树脂固化后再在阵元块的背衬层表面涂覆环氧树脂形成下环氧树脂层,下环氧树脂层固化后,在下环氧树脂层的表面进行开槽,开槽的槽深大于下环氧树脂层的厚度,然后切割得到各个压电阵元,压电阵元是外表面被环氧树脂均匀包裹阵元块。上述技术方案中得到四周和底部均被环氧树脂覆盖的压电阵元,装配时用环氧填充切槽,固定导线,减少了导线接触不良的可能性,简化了换能器的制备工艺流程并增加了良品率。