超薄件加工变形误差补偿的研究（英文）

作者：曹月; 房丰洲

来源：纳米技术与精密工程, 2018, 1(01): 28-33.

DOI：10.13494/j.npe.20170061

• 超薄件
• 变形补偿
• 超精密车削
• 面形重构

超薄件可广泛应用于高精度微型器件、光子系统等领域.针对加工后超薄件的较大变形,采用基于超精密车削的误差补偿方法进行研究.提出补偿理论与补偿方法,对原位面形误差与离线面形误差进行测量,利用补偿理论计算得到补偿面形,最后采用三轴伺服控制技术对超薄件变形误差进行车削补偿.补偿加工的超薄铝几何尺寸为Φ20×0.1 mm,一次补偿加工后,工件面形峰谷值由变形产生的误差从15μm降到10μm,具有较好的补偿效果.对补偿中原位测量误差与位置偏移误差进行讨论,提出提高补偿加工精度的方法.

• 单位
  天津大学; 精密测试技术及仪器国家重点实验室