17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

作者：薛玲玲; 陈波; 尼启良; 张华; 曹轲; 张玲

来源：光学精密工程, 2005, (02): 225-230.

• 极紫外
• 激光等离子体
• 单色仪
• 微通道板 extreme ultraviolet
• laser-produced plasma
• monochromator
• micro channel plate

设计了17.1 nm波段光电成像系统,用于对波长为17.1 nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分:光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd∶YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体,掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600 L/mm的球面掠入射光栅组成,经单色仪分光后得到波长为17.1 nm的单色光,探测器是微通道板(MCP)和荧光屏组件共同组成,Kodak400 型胶卷被用于记录狭缝的像。结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,实验测得130μm的成像系统的空间分辨率,好于相同条件下文献[6]的结果。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 长春理工大学