蓝宝石片的皮秒激光划片工艺研究

作者：张忆南; 莫德锋; 洪斯敏; 李雪

来源：红外, 2020, 41(12): 18-23.

• 蓝宝石片
• 激光划片
• 皮秒脉冲激光
• 材料特性

由于具有硬度高、热导低及脆性大的特点,蓝宝石材料的精细加工较为困难。对皮秒脉冲激光用于蓝宝石片划片的特点进行了分析和讨论。在此基础上,对用于红外焦平面组件封装的蓝宝石片的皮秒激光划片参数进行了研究,并得到了一系列优化参数。对于红外焦平面阵列封装中常用的厚度为0.4 mm的蓝宝石过渡电极板,在组合划片参数为P(100) X(0.01/20) Y&Z(12) Z(0.1/3)时达到了最佳划片效果。分析了激光功率参数变化对划片的影响,并对实际划片操作中的一些问题进行了探讨。

• 单位
  中国科学院; 中国科学院上海技术物理研究所