氧化锌(ZnO)是一种天然的宽禁带半导体材料，其理论上的禁带宽度为3.37 eV,近年来已经成为制备紫外探测器件的热门材料之一。然而，由于ZnO材料的本征缺陷，直接制备的紫外探测器件总是存在响应率低、暗电流大、响应速度慢等问题。为了获得更好的紫外探测性能，各种可行的器件改善和修饰方法被提出。文章从元素掺杂、表面修饰和异质结构造等三个方面评述了提升ZnO紫外探测器件性能的典型方法，分析了这些方法存在的问题，并展望了未来高性能紫外探测器的发展方向。
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