CMOS X射线图像传感器研究综述

作者:杨京澳; 张晓龙; 彭家丽; 潘思宁*; 任天令
来源:微纳电子与智能制造, 2023, 5(03): 41-52.
DOI:10.19816/j.cnki.10-1594/tn.2023.09.041

摘要

X射线成像被广泛应用于医疗健康、工业探伤等领域。相比传统依赖化学显影的照相方式,基于CMOS工艺的X射线图像传感器具有实时输出、便捷性强、成本低、图像质量高等优势,正逐渐成为此领域发展的主流方向。本文将从CMOS X射线图像传感器的检测原理与基本架构出发,介绍其材料优化、像素电路、阵列系统等方面的最新进展,并总结近20年间X射线图像传感器在像素数量、电路架构和工艺等维度的发展和演进趋势。

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