科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
为解决微机电系统存在的微摩擦问题,提出了一种以光反射为基础的微摩擦测试技术。探讨了该测试方法的基本原理和实施步骤,设计研发了微机电系统的微摩擦测试样机,详细分析了该测试系统计量标定的完整过程,最终得到了该系统的计量测试数据及曲线。通过对Cu-Si、Al-Si表面进行微摩擦实验测试,得到了Cu-Si、Al-Si表面的μm量级微摩擦系数,有效验证了该测试系统能够满足微机电系统微摩擦测试的需要,同时,也为微机构运动特性的理解及设计提供了依据。
-
单位长春理工大学光电信息学院; 长春工程学院; 机电工程学院
