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摘要
石墨烯具有优异机电性能和超大比表面积，其显著压阻效应可应用于高性能压力传感，为探索下一代超灵敏传感器开辟新方向。目前在研石墨烯压力传感器存在石墨烯悬空破损严重、成品率低等难题，其根源在于，石墨烯除胶释放过程应力过载。本文提出以PMMA/石墨烯复合异质薄膜替代单层石墨烯的压力传感器新方案，设计COMS兼容新工艺，可实现传感器规模化制备，成品率接近100%。测试表明，本文传感器灵敏度高达7.42×10-5/kPa,优于与已报道结果。提取传感器压力测量精度约为2.6%～3.5%,比国外禁运高性能压力传感器精度(0.05%～0.01%FS)差近2个数量级，其主因在于测量系统电噪声及受工艺污染石墨烯本征电阻噪声。当前石墨烯压力传感器研究的重点应聚焦精度指标的提高，而不是片面追求灵敏度指标。
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