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摘要
本发明涉及用于测量气浮系统中气膜各种参数的测量装置。包括二维滑动工作台、支架和底座；二维滑动工作台包括电机、纵向滑板、横向滑板和工作面板；二维滑动工作台安装在支架上,工作面板的工作面上设有微位移传感器、压力传感器、温度传感器、薄片振动传感器和薄片；在电机的作用下实现工作面板沿Z方向的移动；纵向滑板在横向滑板上实现沿X方向的移动；支架在底板上实现沿Y方向的移动；测量时,被测的测量气浮系统位于底座的支撑块上,且被测的测量气浮系统的气浮板的顶面对应着工作面板的工作面。本发明实现了气膜流场复杂三维流动各处的压力、振动、温度的测量,以及不同气膜厚度气膜流场的各参数测量问题。
- 单位
