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摘要
激光打孔广泛应用于印刷电路板处理等领域,在该技术中f-θ透镜起到扫描成像的重要作用。利用折衍混合系统设计了f-θ透镜,在满足性能要求的前提下,减少了透镜的个数,降低了系统成本。该系统采用像方远心光路,工作波长为9.25μm,打孔直径50μm,深度182μm,扫描面积达70 mm×70 mm。
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室; 中国科学院研究生院
激光打孔广泛应用于印刷电路板处理等领域,在该技术中f-θ透镜起到扫描成像的重要作用。利用折衍混合系统设计了f-θ透镜,在满足性能要求的前提下,减少了透镜的个数,降低了系统成本。该系统采用像方远心光路,工作波长为9.25μm,打孔直径50μm,深度182μm,扫描面积达70 mm×70 mm。
