基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列

作者：李超波; 焦斌斌; 石莎莉; 叶甜春; 陈大鹏; 张青川; 郭哲颖; 董凤良; 伍小平

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2006, (01): 150-155.

• 微机械
• 焦平面阵列
• 光力学
• 低压化学气相淀积
• 氮化硅
• 噪声等效温度差

选用Au和LPCVD的低应力Si Nx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制,从而大大降低了系统的噪声等效温度差(NETD),NETD达到约200mK.

• 单位
  中国科学院; 中国科学技术大学; 中国科学院微电子研究所