溶胶-凝胶方法制备ZrO_2及聚合物掺杂ZrO_2单层光学增反射膜

作者：梁丽萍; 徐耀; 张磊; 吴东; 孙予罕; 李志宏; 吴忠华

来源：Acta Physica Sinica, 2006, (08): 4371-4382.

• 二氧化锆
• 溶胶凝胶
• 增反射膜
• 激光损伤 zirconium dioxide
• sol-gel
• reflective coating
• laser damage

以丙醇锆(Zr(OPr)4)为原料,乙酸(HAc)为络合剂,聚乙二醇(PEG200)和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为大分子添加剂,在乙醇体系中成功合成了ZrO2及聚合物掺杂ZrO2溶胶.用旋涂法在K9玻璃基片上制备单层光学增反射膜.借助小角X射线散射和激光动态光散射技术研究胶体的微结构.采用傅里叶变换红外光谱、差示扫描量热分析、X射线衍射分析、原子力显微镜、紫外可见近红外透射光谱以及椭偏仪对薄膜的结构和光学性能进行表征.用输出波长为1064nm的强激光,采用“R1”模式测试薄膜的抗激光损伤性能.研究发现,改变体系中HAc和H2O的量,可以方便地调节HAc配合反应和H2O分子亲核取代反应发生的概率,...

• 单位
  中国工程物理研究院激光聚变研究中心; 中国科学院高能物理研究所; 煤转化国家重点实验室; 材料科学与工程学院; 太原科技大学; 中国科学院山西煤炭化学研究所; 中国科学院研究生院