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摘要
本发明公开了一种基于二氧化钒与TPU的超材料传感器件,涉及超材料传感技术领域,该器件至少包括一个超材料传感单元；超材料传感单元包括金属薄膜、设置在金属薄膜上的第一介质基板、设置在第一介质基板上的第二介质基板以及设置在第二介质基板上的金属谐振结构；金属谐振结构包括同心的外部谐振环和内部谐振扇环；内部谐振扇环包括多个且按照等间距环形排列的谐振块；外部谐振环的内壁上开设有多个且按照等间距排列的微型凹槽；第一介质基板的材料为二氧化钒；第二介质基板的材料为TPU。本发明基于多层叠结构的设计,具有高Q值,灵敏度高,可调谐,厚度薄等特性,且本发明可以同时实现拉力与温度的传感。
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