热处理条件对sol-gel法Pb_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3薄膜形成影响的研究

作者：刘远良; 杜丕一; 翁文剑; 韩高荣; 沈鸽

来源：无机材料学报, 2005, (01): 151-157.

• sol-gel
• 热处理
• PST薄膜
• 晶相形成 sol-gel
• heat treatment
• PST thin films
• crystalline formation

采用sol-gel法,利用快速热处理工艺过程,保持烧结温度在最低温度(约500℃)以上,制备了多晶钙钛矿结构的PST(Pb0.4Sr0.6TiO3)薄膜.通过XRD、SEM、AFM等方法对晶相的形成与热处理条件之间的关系进行了测试.研究表明,利用溶胶-凝胶法制备PST薄膜的钙钛矿晶相形成过程及晶相含量受制备过程及晶相形成时离子的活性所控制.通过快速热处理方法,在凝胶分解过程中得到的高活性离子直接形成晶相,可以得到相应更多的晶体含量及在较低的温度下形成晶相.在600℃下RTP制备的PST薄膜的晶相含量比同温度下保温热处理薄膜增加约14％,利用RTP制备PST薄膜的晶相形成温度约在500℃,相应要...