本发明公开了一种基于动态差压衰减的固定流导元件质量流量测量装置及方法,使AAO固定流导元件的质量流量测量具有准确、高效和简便的特点。本发明装置包括:充气装置、第一阀门、容器A、第一温度计、差压变送器、第二阀门、第三阀门、AAO固定流导元件、第二温度计、容器B、第四阀门、真空泵组,实验气体在压差驱动下流经AAO固定流导元件时,根据AAO固定流导元件的进出口动态差压随时间的衰减变化拟合出指数函数,进而计出算气体流经固定流导元件时瞬态质量流量。