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摘要
根据生产实践,总结分析了磷、硼杂质在三氯氢硅中的存在形式以及磷硼元素对多晶硅品质的影响。磷系化合物主要是以高沸物存在,少量以低沸物存在,通过加大各塔塔底的排放可以除去;硼系化合物80%左右是以高沸形式存在,15%左右是以低沸形式存在,还有5%左右的杂质沸点是同一工况下高于三氯氢硅,但低于四氯化硅的沸点。除硼成了三氯氢硅提纯的关键因素,合理控制各塔的排高排低除去硼杂质,降低精馏塔单位产品能耗,提高精馏塔的生产能力。
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单位江西景德半导体新材料有限公司
