纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI

作者：林成鲁; 刘卫丽

来源：功能材料与器件学报, 2007, (04): 403-408.

• 高端硅基材料
• 绝缘体上硅(SOI)
• 绝缘体上应变硅(sSOI)
• 绝缘体上锗(GOI) advanced Silicon-based materials
• silicon on insulator(SOI)
• strained silicon on insulator(sSOI)
• germanium on insulator(GOI)

本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作。

• 单位
  中国科学院上海微系统与信息技术研究所