基于发射光谱的微波等离子化学气相沉积中的电子温度诊断

作者：陈驰; 张朝阳; 傅文杰; 鲁钝; 黄同兴; 鄢扬

来源：光子学报, 2021, 50(09): 167-175.

• 电子温度诊断
• 微波等离子体
• 朗缪尔探针
• 发射光谱

在气压40～80 Pa和微波功率400～800 W条件下,使用光学发射光谱法(OES)对Ar、CH4等气体产生的等离子体进行电子温度诊断。实验结果表明,OES法测试得到的电子温度介于0.75 eV到4 eV之间。在含碳气体的微波同轴线型等离子体中使用OES方法进行诊断是可行的,这些研究结果可以进一步拓展OES方法在等离子体增强化学气相沉积领域中的应用。

• 单位
  电子科技大学