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摘要
采用真空电弧离子镀（AIP）技术在不同沉积温度下TiAlN涂层，用于高性能制造，并研究了沉积温度与表面性能的关系。结果表明，由于离子轰击作用，表面大颗粒随沉积温度的升高而减少。随着沉积温度的升高，涂层表面的晶粒尺寸先急剧减小后逐渐增大。此外，沉积温度对合成涂层的相组成和化学成分影响不大。随着沉积温度的升高，硬度和粘结强度先迅速增加，后逐渐降低。当沉积温度在450℃左右时，沉积的TiAlN涂层硬度最高，粘结强度最大。上述现象的发生机理与沉积过程中表面与界面之间的微观组织和残余应力的变化有关。合成的涂层在高达900℃的空气中具有良好的热稳定性。
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单位自动化学院; 东北大学
