分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XRD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响。结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合适的衬底温度和退火处理能够提高LaB6薄膜的结晶质量。并对两种成膜方式进行了比较。
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