科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
针对温度和应力变化带来的电场传感器灵敏度漂移和测量误差问题，该文提出一种具有灵敏度漂移自补偿功能的微机电系统（MEMS）谐振式电场传感器。传感器结构中，感应电极用于测量外部电场，参考电极用于监测可动结构振动信息；基于振动相位和锁相环技术实现传感器谐振频率自动跟踪，利用参考电极输出信号对感应电极输出信号进行实时补偿，提高传感器灵敏度的稳定性。该文开展了敏感结构设计和理论分析，研制出传感器样机，并进行了样机标定测试。测试结果表明，在±18 kV/m电场范围内，传感器线性度达到0.21%,3个往返行程总不确定度达到1.34%；在–40°C～70°C温度范围内，灵敏度相对漂移量小于3.0%，具有良好的灵敏度漂移自补偿效果。
- 单位
