基于柯西边值分析与切片还原思想的激光测面仪

作者：李思远; 董国波^*; 唐芳; 李华

来源：电子测量技术, 2019, 42(15): 83-87.

DOI：10.19651/j.cnki.emt.1902693

• 图像处理
• 激光
• 三维建模
• 柯西边值分析
• 切片还原

传统方法测量薄膜物质常用探针法,此方法精度有限,还会对待测物体造成损耗。为克服探针法的不足,文章将基于切片还原思想设计一种新的测量仪器,利用激光等间隔扫描待测物体,并使用高速摄像机获取切片图像,随后使用柯西边值分析等图片处理技术提取出切片图片的边缘轮廓。最终通过插空拟合的方式还原待测物质的3D模型,进而可以方便地测量包含表面积,任意两点间距在内的各类参数。文章还就不同速度下的建模精确度和效率展开讨论,为将来仪器针对不同应用情况下的模式切换提供理论基础,从而保证这种精度更高、不会对待测物体造成损伤的测量薄膜物质的方法能够投入规模生产。

• 单位
  电子信息工程学院; 北京航空航天大学