螺旋型天线螺旋波等离子体特性研究

作者：付唯; 汤栋; 陈建军; 陈波; 叶宗标; 芶富均^*; 张坤

来源：四川大学学报(自然科学版), 2022, 59(02): 139-145.

DOI：10.19907/j.0490-6756.2022.024003

• 螺旋波等离子体
• 模式转换
• 诊断
• 电子密度

为提高等离子体密度和工质气体电离率，本文采用螺旋天线产生的螺旋波激励Ar等离子体，并利用射频补偿Langmuir探针分析了等离子体的离子密度和电子温度特征.试验结果表明，气压增加的同时，随着功率的升高，螺旋波等离子体出现放电模式转换，提前进入螺旋波放电模式.在1.0 Pa压强下，当射频功率达到400 W时，等离子体进入螺旋波放电模式，此时扩展区域的等离子体密度超过1×1018 m-3.电子密度在放电管中心区域最高，并沿径向逐渐降低.本文的研究结果将为大体积H2螺旋波等离子体提供依据和经验.

• 单位
  四川大学; 成都大学