一种环状补偿膜应力补偿晶体谐振器

作者:苗苗; 李智奇; 李皖; 张艺; 周渭; 张雪萍; 冯娜娜
来源:2019-01-17, 中国, CN201910043465.8.

摘要

本发明涉及一种晶体谐振器,特别是一种环状补偿膜应力补偿晶体谐振器,其特征是:至少包括:晶体、晶体中心电极,沿晶体中心电极两边有延伸层,两边延伸层为对称结构,两边延伸层至晶体边沿,两边延伸层至晶体边沿形成两个扇形面,两个扇形面的中心线与两边延伸层中心线重合,在沿晶体中心电极至两边延伸层的上下面有对称的四块补偿膜,四块补偿膜通过真空镀膜附着于晶体片边缘,并与晶体中心电极形成第一间隙,上两块补偿膜和下两块补偿膜上下对称;上下各两块补偿膜左右对称;晶体工作时,用晶体的力频特性补偿晶体的温频特性进行稳频。它提供一种结构简单,体积小,功耗低、成本低和稳定度高的环状补偿膜应力补偿晶体谐振器。