微型晶体谐振器预封定位装置动作时序优化研究

作者：胡小华; 喻信东; 单小荣; 胡剑; 李刚炎^*

来源：机电工程, 2020, 37(05): 572-587.

• 微型晶体谐振器
• 预封定位装置
• 动作时序
• 有限状态机

针对微型晶体谐振器预封定位装置结构复杂、动作时序难以规划的问题,对微型晶体谐振器预封定位装置的动作时序,及其有限状态机模型仿真优化进行了研究。基于预封定位装置的结构,结合工艺流程要求,分析了预封定位装置各执行元件的动作、动作顺序与位置,提出了预封定位装置的性能指标;以预封定位装置传感器的状态参数和执行元件的位置为依据,设计了其动作时序;基于有限状态机理论,利用Simulink/Stateflow建立了预封定位装置的动作时序模型;依据模型仿真结果,对预封定位装置动作时序进行了优化,确定了最终动作时序;利用样机试验对预封定位装置动作时序进行了验证。研究结果表明:优化后的动作时序满足预封定位装置性能指标要求。

• 单位
  机电工程学院; 武汉理工大学