加速度传感器的实现与检测

作者：刘骅锋; 杨正; 严世涛; 刘金全^*

来源：物理实验, 2022, 42(11): 20-26.

DOI：10.19655/j.cnki.1005-4642.2022.11.003

• 加速度传感
• 锁相放大
• 微弱信号检测
• 反馈控制测试

传感器实现和检测过程中涉及多种精密测量手段．介绍了加速度传感器的基本原理，包括加速度机械敏感结构、位移-电容转换、调制-解调信号提取、闭环反馈控制等内容，并给出了加速度传感器输入-输出模型和基本测试方法．设计了加速度传感器实验装置，包括加速度传感器组装的零部件、前放电路、用于信号检测的锁相放大器、传感器静态/动态标定仪器及其他辅助设备．加速度传感器的实现与检测结果表明：在开环和闭环工作模式下，对于微弱加速度信号的传感性能均符合实验设计和预期．

• 单位
  物理学院; 华中科技大学