沉孔底面是柱塞套高压密封端面的一种新结构形式,精度要求高,无法使用常规平面磨或平面研磨机进行加工,也无法进行平板抛光,加工难度大。对沉孔底面的超精密加工工艺进行了研究,分析了技术要求、加工难点和磨削加工的可行性。在此基础上,形成三种沉孔底面的超精密加工工艺方案,并进行对比,确认了最优的加工工艺方案。