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摘要
本发明公开一种抗重力超薄微热管及其制备方法,制备方法为通过在单晶硅片上进行连续两次激光加工,加工出凹槽和可进行单向运输液体的阵列排布的梭形结构作为毛细吸液芯,然后在带有该梭形结构的两片单晶硅片间放置一片单晶硅支架,采用共晶键合技术将单晶硅片与单晶硅支架之间进行密封,再采用飞秒激光钻孔在一侧单晶硅片上钻真空灌液孔,通过真空灌注机对微热管抽真空并灌注工质液体,然后对真空灌液孔进行激光焊接密封,得到所述的抗重力超薄微热管。本抗重力超薄微热管,采用在内壁上直接加工出可进行单向运输液体的梭形阵列吸液芯结构,具有更大的蒸汽回流通道；梭形阵列结构带来了极大的毛细回流压力,传热性能好,具有抗重力特性。
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