基于纳米孔阵列结构的滤光片

作者：刘德连; 叶云龙; 张建奇; 王昱程; 马向超; 解尧

来源：2021-01-12, 中国, ZL202110032888.7.

本发明公开了一种基于纳米孔阵列结构的滤光片,主要解决现有滤光片结构复杂、加工难度大、稳定性低,及对不同偏振方向的入射光不能获得相同透射率的问题。其包括：基底(1),金属膜(2)以及纳米孔阵列(3),金属膜(2)位于基底(1)的上面,该纳米孔阵列(3)由圆孔(31)和正菱形孔(32),并按行或列以周期P交错排列刻蚀在金属膜(2)的表面,且圆孔(31)所在行和列均与正菱形孔(32)所在行和列间隔半个周期,使任意一个孔的中心到其周围相邻的四个孔的中心距离相同,通过改变周期P,实现对滤光片透射率的调控。本发明结构简单,易于制造,稳定性高,能获得不同偏振方向入射光照射下的相同透射率,可用于光谱重建。

• 单位
  西安电子科技大学