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摘要
本发明公开了一种柔性IC基板蚀刻显影工艺过程的在线监控方法中,步骤：收集工艺过程中正常的历史数据集X,归一化得到采用KPCA模型提取出的非线性主元矩阵T,对SVDD模型进行训练；非线性主元矩阵T中所有极限点构成极限点数据集；在线采集检测数据y,归一化得进行以下检测：由当前KPCA模型提取出的非线性主元z′,输入至当前SVDD模型计算统计量,判定出y是否正常；若正常,对当前KPCA模型进行更新,若正常且z′为极限点,则更新极限点数据集；由更新后的极限点数据集对当前SVDD模型进行训练；当下一次在线采集到检测数据时,归一化后重复执行上述检测。本发明能够实现快速且准确的在线监控。
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