小体积高温纳米薄膜压力传感器的研制

作者：雷卫武; 崔洪伟; 韦冰峰

来源：传感器世界, 2023, 29(11): 5-9.

DOI：10.16204/j.sw.issn.1006-883X.2023.11.002

• 纳米薄膜
• 压力传感器
• 高温

在某发动机试车试验过程中，需要小体积高温压力传感器来实现压力参数测量。文章主要介绍小体积高温纳米薄膜压力传感器的研究，通过改进纳米薄膜敏感材料的合金成分，设计耐高温电极引线焊盘，优化传感器敏感电阻设计，研制出小体积250℃高温纳米薄膜压力传感器，通过性能测试，传感器精度高、稳定性好、抗震能力强，可以满足发动机试车试验压力参数测量要求。

• 单位
  北京强度环境研究所