发动机挺柱沉积类金刚石薄膜的工艺及性能

作者：黄平; 张营营; 张斌; 范梅梅; 李兴杰; 强力

来源：电镀与涂饰, 2013, (06): 19-21.

DOI：10.19289/j.1004-227x.2013.06.006

• 挺柱
• 类金刚石
• 薄膜
• 磁控溅射
• 摩擦
• 磨损 tappet
• diamond-like carbon
• thin film
• magnetron sputtering
• friction
• wear

采用磁控溅射法,以Cr、Ti和石墨为靶材,Ar、N2和CH4为溅射气体,在材料为20CrMo的发动机挺柱上利用多层梯度复合技术沉积了低摩擦类金刚石(DLC)薄膜复合层CrTi/CrTiN/CrTiC/DLC。该薄膜复合层的纳米压痕硬度高达13GPa,结合力为50N,表面粗糙度为0.398nm。在SRV-IV微动摩擦磨损试验机上进行耐磨损试验后,DLC复合薄膜挺柱的磨损率为渗碳挺柱的1/6。该研究技术具有自主知识产权,实现了挺柱批量化覆膜加工,并有望在发动机主要摩擦副上推广应用。

• 单位
  重庆长安汽车股份有限公司; 中国科学院兰州化学物理研究所