激光清洗技术的现状及展望

作者：刘雨佳; 刘建华

来源：航空精密制造技术, 2010, (02): 60-62.

• 激光清洗
• 微电子 laser cleaning
• microelectronics

介绍了激光清洗技术的原理和方法,并展望了激光清洗技术在空间领域,海洋船舶甚至日常工作中的应用前景。

• 单位
  北京航空精密机械研究所; 中国农业大学