1200V场终止型绝缘栅双极晶体管的ADE物理建模及参数提取

作者：陆戴; 王文杰; 王庆珍; 于平平; 姜岩峰^*

来源：电子学报, 2019, 47(02): 434-439.

• 场终止型绝缘栅双极晶体管
• 双极扩散方程
• 物理模型

绝缘栅双极晶体管(IGBT)是微电子学研究的热点之一,而相关电路仿真迫切需要该器件的等效模型.本文提出基于傅里叶解双极扩散方程(ADE)的1200V场终止型IGBT物理模型,通过RC电路等效漂移区载流子分布,精确求解双极扩散方程.该模型针对大功率IGBT的工作原理,采用大注入假设条件,在综合分析场终止层的同时,根据1200V场终止型IGBT的特点考虑漂移区载流子的复合效应.在提取器件模型所需的关键参数后,用实际IG-BT的测量结果对该模型的仿真结果进行了验证,通过分析静态以及关断瞬态特性曲线,仿真与实验数据误差均值小于8%,证明所建模型及参数提取方法的精确度.

• 单位
  江南大学