本发明公开一种制备周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构的方法,首先在一定厚度的平滑石英玻璃片旋涂AZ4562光刻胶,并显影得到该结构凹槽,然后蒸镀金属种子层覆盖该石英玻璃片表层及凹槽,接着加入(NH4)2S2O8过硫酸铵溶液侵蚀石英玻璃片表层及少量凹槽内金属,最后通过加入AZ400T去胶剂去除剩余正胶。本发明利用湿法刻蚀、UV-LIGA光刻和蒸镀等技术获得周期性齿轮形太赫兹带通滤波器结构,解决了现有微米级太赫兹滤波器结构制备中工艺复杂以及难以实现小尺寸的问题。
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