TFT基板玻璃清洗工序水循环系统杂质去除浅析

作者：赵虎; 邱大战^*

来源：玻璃, 2019, 46(07): 55-57.

• 基板玻璃
• 水循环
• 杂质去除
• 滤芯
• 导流槽

TFT基板玻璃生产过程中清洗工序通过盘刷、滚刷、二流体、超声波等单元清洗基板玻璃表面,去除掉生产过程中产生的玻璃粉、研磨粉、纸粉等杂质,每个单元都需要大量水冲淋基板玻璃,为节省用水量,水通过水箱滤芯过滤后循环使用,根据水中杂质含量的不同滤芯的过滤精度也不同。普通过滤系统只有一个滤芯过滤,滤芯负载大,过滤能力弱。含有导流槽的过滤系统在滤芯前方增加一个导流槽,将大的杂质和颗粒从水中剥离出来,减轻了滤芯的负载,提高了水循环系统去除杂质能力,延长了滤芯的使用寿命,提升了水的水质。