垂直型MoS2/C60范德华异质结的研究

作者：潘志伟; 邓金祥^*; 张浩; 白志英; 李瑞东; 王贵生; 段苹; 王吉有

来源：半导体技术, 2019, 44(01): 20-26.

DOI：10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.01.004

• MoS2
• C60
• 薄膜
• 异质结
• 导电模型

研究了采用垂直堆垛方式构筑的MoS2/C60范德华异质结的特性。利用直流磁控溅射法制备Mo薄膜,对Mo薄膜进行硫化退火处理得到MoS2薄膜,采用真空蒸镀法在MoS2薄膜上沉积C60进而形成MoS2/C60范德华异质结,并制备了Au/MoS2/C60/Al结构的器件。对MoS2薄膜的晶体结构进行了分析,对MoS2,C60及MoS2/C60薄膜的喇曼光谱及光吸收特性进行了测试和表征。结果表明:经过750℃退火后的MoS2晶型为2H型;由于在MoS2和C60薄膜之间范德华力的存在,相对于生长在Si/SiO2衬底上,沉积在MoS2上的C60薄膜喇曼特征峰发生红移; MoS2/C60薄膜在可见光范围内具有明显的光吸收特性;异质结表现出良好的整流特性,通过电子导电模型分析得出电子的传输机制包含热电子发射,空间电荷限制电流传导(SCLC)和隧穿现象。

• 单位
  北京工业大学; 数理学院